檢索結果：共8筆資料 檢索策略： "光柵".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="位移"
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本研究提出一套創新的弦波調制雙繞射光柵干涉儀，用以進行精密位移及旋轉角量測。此套干涉儀是以弦波訊號來針對WP雙折射晶體進行訊號調制，達到外差訊號調制的目的，進而降低環境低頻擾動對量測結果所造成的影響…
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近年來，精密機械業對於能提供高精度的量測設備需求正逐年攀升，透過具備優異量測性能的量測設備對工具機台進行位移、旋轉角和幾何誤差量測與校正，以維持高製造精度。然而，大多數的量測設備無法同時提供多自由度…
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本研究提出一套以「多次繞射」為設計概念進行系統開發的「三繞射式雙光柵干涉儀」，用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套「三繞射式雙光柵干涉儀」具備外差干涉術、光柵干涉術、三繞射式光路及共面偵測式光路等技…
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本研究提出一套以準共光程光路架構為設計概念的新式雷射干涉儀，用以進行六自由度位移及旋轉角量測。此套干涉儀系統結合外差、光柵剪切、麥克森干涉術等技術，具備高解析度、高穩定度及六自由度(6-DOF)之量…
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本研究提出一套創新的六自由度聚焦式雷射光學尺量測技術，其系統架構簡單，架設與校正容易，可用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套量測技術的開發主要是以「光柵干涉術」為技術核心，輔以外差調制技術及自行設計…
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本研究提出一套以「雙繞射」為設計概念進行系統開發的雙繞射式雷射光學尺，用以進行位移及旋轉角量測。此套雙繞射式雷射光學尺系統整合外差干涉術、光柵干涉術、雙繞射光路及分光技術等設計概念進行開發，使系統具…
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統，用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…